更新時(shí)間：2025-06-26
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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
型號(hào)：UNECS-1500M
| 品牌 | ULVAC/日本愛發(fā)科 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
日本ULVAC愛發(fā)科光譜橢偏儀
特征
高速測(cè)量：實(shí)現(xiàn)快照測(cè)量方式，高速測(cè)量每點(diǎn) 20ms。
可見光譜范圍：可以選擇光譜波長(zhǎng)范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm，可見光譜型為 380nm~760nm。
緊湊型傳感器單元：傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個(gè)沒有任何旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外，無(wú)需任何定期維護(hù)。
強(qiáng)大的產(chǎn)品線：擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品線，包括便攜式、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)型、內(nèi)置式和大型基板型等。
測(cè)量透明或半透明的薄膜厚度 （D）、反射指數(shù) （N） 和消光系數(shù) （K）。（氧化膜、氮化物膜、光刻膠膜、ITO 膜等）
| 波長(zhǎng)范圍 | 530 至 750 納米或 380 至 760 納米 | |
| 光斑尺寸 | Φ1mm 或 Φ0.3mm | |
| 入射角 | 70° | |
| 薄膜厚度可重復(fù)性 | 1σ = 0.1納米 | |
| 膜厚測(cè)量范圍 | 1nm 至 2μm | |
| 測(cè)量時(shí)間 | 采樣時(shí)間 ： 20ms 至 3000ms 分析時(shí)間 ： 300ms | |
| 樣品臺(tái) | 固定載物臺(tái)（Φ150mm、可拆卸） | |
| 控制 PC | 筆記本電腦，包括分析軟件 | |
| 配置 | 測(cè)量單元（包括固定載物臺(tái)）。控制箱。光源單元。控制 PC（筆記本電腦型）和作手冊(cè) （CD）。 | |
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